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高通量(场发射)扫描电镜在芯片分析领域的应用

  • 单位:高通量(场发射)扫描电镜在芯片分析领域的应用
  • 行业:半导体
  • 合作时间:2022
  • 使用产品:NavigatorSEM-100
  • 地点:北京
高通量(场发射)扫描电镜在芯片分析领域的应用

分析产品功能、信号传导、通信互连

 提取互连层布线,建立电路图

分析制程、材料和工艺

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